所謂真空，是指在給定的空間內(nèi)，壓力低于101325Pa的氣體狀態(tài)。在真空狀態(tài)下，氣體的稀薄程度通常用氣體的壓力值來(lái)表示，顯然，該壓力值越小則表示氣體越稀薄。工業(yè)上有各種各樣的微型真空泵，對(duì)于各種泵的性能都有規(guī)定的測(cè)試方法來(lái)檢驗(yàn)，主要參數(shù)有：
1、抽氣速率：在真空泵的吸氣口處，單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)的氣體體積。
  傳統(tǒng)工業(yè)用真空泵體積普遍很大，而且泵的工作需要特殊的真空泵油和潤(rùn)滑機(jī)油，介質(zhì)氣體內(nèi)會(huì)含有大量油霧。隨著儀器儀表工業(yè)的發(fā)展以及人們對(duì)環(huán)保的要求，各國(guó)的微型無(wú)油真空泵應(yīng)運(yùn)而生，普遍有以下規(guī)律：泵的價(jià)格和真空度指標(biāo)密切相關(guān)。真空度指標(biāo)是各國(guó)生產(chǎn)商努力追求的主要指標(biāo)，它反應(yīng)了相應(yīng)的機(jī)械加工、密封技術(shù)、材料科學(xué)等領(lǐng)域的整體實(shí)力，也是生產(chǎn)商獲取利潤(rùn)的重要手段。要提高真空度指標(biāo)，就必須有更高的密封條件，因此就需要采用尺寸更精確、材料性能更優(yōu)異的零部件，于是生產(chǎn)成本就大幅度提高了。而且價(jià)格的增幅遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于真空度指標(biāo)的增幅。當(dāng)然，抽氣速率的提高也會(huì)引起價(jià)格的攀升，但其增幅不大。因此，選擇微型真空泵時(shí)需要認(rèn)真考慮真空度指標(biāo)、抽氣速率指標(biāo)、這樣才能最好地兼顧使用性能和成本。
  高真空度的微型泵由于采用了非常精密的密封零件，因此它對(duì)工作環(huán)境的清潔條件、溫度參數(shù)、介質(zhì)成分等均有更高的要求。真空泵的抽氣速率和真空度越高，振動(dòng)和噪音也越大

2、極限真空（通常稱(chēng)為真空度）：將真空泵與檢測(cè)容器相連，放入待測(cè)的氣體后，進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)抽氣，當(dāng)容器內(nèi)的氣體壓力不再下降而維持某一定值時(shí)，此壓力稱(chēng)為泵的極限真空。該值越小則表明越接近理論真空。
普通真空表測(cè)得的真空值（即：表壓）為相對(duì)真空度，用負(fù)數(shù)表示，是指被測(cè)氣體壓力與大氣壓的差值。

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