低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵,又稱冷凝泵。低溫泵是獲得清潔真空的極限壓力最低、抽氣速率最大的真空泵,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn),以及分子束研究、真
空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。
SHI APD公司的Marathon? CP系列低溫泵專門設(shè)計用于高真空系統(tǒng)。因其潔凈無污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出優(yōu)勢,被廣泛的應(yīng)用于科學(xué)研究實驗室、乃至工業(yè)生產(chǎn)等眾多領(lǐng)域,如半導(dǎo)體材料制作、平板顯示器生產(chǎn)/測試設(shè)備、太陽能制造業(yè)、真空鍍膜、熱真空系統(tǒng)等。
冷凝冷凝泵軸承過熱原因:
1、泵的油脂沒有或不夠;
方法:填加潤油脂至標(biāo)準(zhǔn)要求。
2、泵與電機軸不同心;
方法:調(diào)正,對準(zhǔn)泵與電機同心。
3、泵軸承損壞;
方法:更換新軸承。泵
冷凝泵適用介質(zhì):清水 冷凝泵適用介質(zhì)溫度:0℃ 至 120℃ 冷凝泵